LEGEXSILIIZ是分析和排除誤差因素的超高精度CNC三維測量機
主體壓板部為實現(xiàn)高剛性、高衰減性，嚴格選用材料，采用密閉結構。此外，使用FEM結構分析模擬進行應力分析，保證因載荷變動等引起的變形達到最小限度的幾何運動精度。此外，為了實現(xiàn)超高精度，還投入了多種技術，如驅動部的結構、振動對策等。
、位置檢測用測長單元包括熱膨脹系數(shù)÷0的超高精度結晶化玻璃輪廓器和高分辨率的高性能反射型線性編碼器的組通過配合，搭載了超高精度測長單元(本公司制造)，可實現(xiàn)具有位置檢測能力的超高精度機床控制
超高精度機的安裝環(huán)境需要恒溫室等級，但通過溫度修正功能，能夠在廣泛的溫度環(huán)境下保證精度。
為了支持簡單、高精度的測量，我們準備了探針(接觸型、非接觸型)、數(shù)據(jù)處理裝置等多種選項