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產(chǎn)品簡介
進口EBARA荏原干式真空泵ESA70W（-D）兼容高溫控制抽速大大流量排氣采用耐腐蝕材料標準耐腐蝕性增強選項能夠在重負荷下進行處理在不同頻率下具有相同的性能 （50/60 Hz）油提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL
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| ESA25-D 系列 | ESA25XW | ESA70W（-D） 系列 | ESA70WN（-D） | ESA80W-HDF 系列 | ESA80WN-高密度纖維板 | ESA100W | ESA100WN | ESA200W | ESA300W | ESA500W | ESA700W | ||||
| 抽速 | 升/分鐘 | 1,400 （50 赫茲） | 2,500 （50 赫茲） | 5,000 （50 赫茲） | 7,000 （50 赫茲） | 7,000 （50 赫茲） | 8,400 （50 赫茲/60 赫茲） | 8,400 （50 赫茲/60 赫茲） | 10,000 （50Hz/60Hz） | 10,000 （50Hz/60Hz） | 20,000 （50 赫茲/60 赫茲） | 28,000 （50 赫茲） | 47,000 （50 赫茲） | 80,000 （50 赫茲/60 赫茲） | |
| 1,700 （60 赫茲） | 3,000 （60 赫茲） | 6,000 （60 赫茲） | 8,400 （60 赫茲） | 8,400 （60 赫茲） | 30,000 （60 赫茲） | 50,000 （60 赫茲） | |||||||||
| 極限壓力 | 帕 | 400 （50 赫茲） | 5.3 （50 赫茲） | 5.3 （50 赫茲） | 0.27 （50 赫茲） | 0.4 （50 赫茲） | 0.13 | 0.27 | 0.13 | 0.27 | 0.53 | 0.53 | 0.53 | 0.5 | |
| 270 （60 赫茲） | 4.0 （60 赫茲） | 4.0 （60 赫茲） | 0.13 （60 赫茲） | 0.27 （60 赫茲） | |||||||||||
| 連接直徑 | 進氣口 | 西北 40 | 西北 50 | ISO80認證 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 80 | ISO100 認證 | ISO160 認證 | ISO160 認證 | |
| 排氣口 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 50 | ||
| 極限壓力下的近似功率 | 千瓦 | 2.9 （50 赫茲） | 2.6 （50 赫茲） | 5.2 （50 赫茲） | 3.6 （50 赫茲） | 3.6 （50 赫茲） | 4.2 | 4.2 | 4.9 | 4.9 | 3.2 （50 赫茲） | 6.6 （50 赫茲） | 5.1 （50 赫茲） | 7.4 | |
| 3.2 （60 赫茲） | 2.9 （60 赫茲） | 5.8 （60 赫茲） | 4.0 （60 赫茲） | 4.0 （60 赫茲） | 3.4 （60 赫茲） | 7.3 （60 赫茲） | 6.7 （60 赫茲） | ||||||||
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 3.5~8 | 3.5~8 | 7~16 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 6~9 | 6~9 | 6~9 |
| 溫度 | °C | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | |
| 注 2 | 流量 | 帕•m3/秒 | 14~17 （4.6） | 17~20 （3.8） | 34~40°C | 24~27 （4.7） | 24~27 （4.7） | 54~57 元 | 54~57 元 | 54~57 元 | 54~45 元 | 17~20 （3.8） | 7.5~10.5 | 8.5~11°C | 8.5~11°C |
| 電源相位/電壓/頻率 | 200V 型號 | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V 型號 | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | - | ||
| 460V 型號 | 三相/440V/50Hz 三相/440-480V/60Hz | 三相/440V/50Hz 三相/440-480V/60Hz | 三相/440V/50Hz 三相/440-480V/60Hz | ||||||||||||
| 電源容量 | 千伏安 | 6.4 | 6.4 | 12.8 | 10.3 | 10.3 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12 | 23.7 | 41.3 | 46.5 | |
| 近似質(zhì)量 | 公斤 | 240 | 240 | 480 | 380 | 380 | 400 | 400 | 400 | 400 | 410 | 700 | 750 | 1200 | |
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